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什么是工业去离子水？
蒸馏水只是先气化再冷凝，相对而言。其纯度如电导率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。
主要指采用离子交换树脂处置方法。现在工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际规范化组织ISO/TC147规定的去离子”定义为：去离子水完全或不完全地去除离子物质。但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。半导体行业中，去离子水被称为“超纯水”或是18兆欧水”。
从自来水到去离子水一般要经过几步处理：
1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质。
2、然后高压通过反渗透膜。
3、最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物。可以再进行一次离子交换过程最高电阻率可达到18兆。
4、假如此时电阻率还没有达到要求的话。
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